TT

Tên thiết bị

Công dụng

1.

Thiết bị phún xạ Sputtering ATC-200UHV

 

6 súng điện tử, buồng chân không chính và buồng chân không phụ cho phép chế tạo nhanh các màng mỏng cỡ vài nm tới vài trăm nm. Có thể chế tạo các màng có cấu trúc đa lớp nhanh và chính xác.

2.

Thiết bị phún xạ Sputtering BOC – Edwards 500

3 súng điện tử, một buồng chân không cho phép chế tạo các màng vật liệu với tốc độ lắng đọng cao, chiều dày màng từ vài nm tới vài  mm.

3.

Thiết bị tạo màng bằng công nghệ Laser xung PLD (Pulse Laser  Deposition)   Pioneer 120 PLD

Cho phép chế tạo các màng mỏng với chiều dày chính xác tới cỡ 0,1 nm, màng có hợp thức thành phần hóa học phù hợp với bia vật liệu.

4.

Thiết bị tạo mẫu màng bằng xung điện tử (Pulsed electron deposition) Model: PEBS-20 Hãng: Neocera

Cho phép chế tạo các màng mỏng với chiều dày chính xác tới cỡ 0,1 nm, màng có hợp thức thành phần hóa học phù hợp với bia vật liệu.

5.

Máy đo nhiễu xạ tia X (Brucker D8 Advance)

Kiểm tra cấu trúc tinh thể của vật liệu, xác định được kiểu mạng, kích thước mạng của vật liệu.

6.

Kính hiển vi lực nguyên tử AFM và MFM

Kiểm tra độ gồ ghề bề mặt của vật liệu, phân tích cấu trúc bề mặt vật liệu, phân tích các đô-men điện và từ của vật liệu.

7.

Kính hiển vi điện tử quét

Kiểm tra hình thái học bề mặt của vật liệu, chiều dày vật liệu. Phân tích định hướng tinh thể.

8.

Thiết bị ăn mòn khô (Dry etching system) Model: NRE-4000 Hãng: Nano-Master Inc

Tạo hình cấu trúc cho đế để chế tạo các tổ hợp linh kiện mong muốn.

9.

Máy gia công laser (Laser machining) Model: M-360 Hãng: Laser Universal System

Cắt, khắc, tạo hình cấu trúc cho đế, vật liệu.

10.

Thiết bị kiểm tra bề mặt (Surface profiler) Model: D150 Hãng: Veeco

Kiểm tra độ gồ ghề, chiều dày vật liệu.

11.

Thiết bị đo các tính chất sắt điện (Ferroelectric test system) Precision LC (10V); Radiant Technologies, Inc – Mỹ

Phân tích tính chất điện, độ phân cực điện, tính chất điện môi của vật liệu.

12.

Thiết bị đo các tính chất bán dẫn (Semiconductor characterization system) Keithley model 4200-SCS/F

Phân tích, kiểm tra tính chất điện của các vật liệu, linh kiện bán dẫn.

13.

Hệ đo điện trở của wafer bằng phương pháp 4 mũi dò (Resistivity system)

Đo điện trở vuông của các màng mòng.

14.

Hiển vi quang học với CCD camera (Optical microscopy with CCD camera)

Quan sát vật liệu, linh kiện.

15.

Thiết bị quay phủ Laurell WS-400B

Chế tạo màng mỏng vật liệu.

16.

Máy định vị Mask MTB4-Suss

Tạo cấu trúc cho vật liệu, linh kiện.

17.

Máy hàn phiến FD33 Fine placer

Hàn, ghép nối các khối vật liệu.

18.

Máy cắt phiến VKAM

Cắt vật liệu, đế Si.

19.

Máy hàn dây 626 Hybond

Hàn linh kiện, tạo các tiếp xúc vi điểm.

20.

Hệ từ kế mẫu rung Lakeshore 7404

Đo tính chất từ của vật liệu.

21.

Máy khuyếch đại tín hiệu nhỏ, độ ồn thấp Model: SR560 và Model: SR570

Khuếch đại tín hiệu, khử nhiễu

22.

Máy khuyếch đại điện tích Kistler 5011B

Khuếch đại điện tích

23.

Hệ đo và nguồn dòng PA Keithley 236

Tạo dòng với độ chính xác tới 0,1 nA

24.

Nam châm và nguồn nuôi vi chỉnh GMW 5403

Tạo từ trường ngoài

25.

Máy đo từ trường

Đo từ trường với độ chính xác tới 0,01 Oe

26.

Dao động ký Tektronix DP04032

Đo tín hiệu điện

27.

Máy khuyế đại Lock-in Amplifier 7265 DSP

Khuếch đại tín hiệu, khử nhiễu

28.

Lò ủ nhiệt và bơm chân không

Tạo môi trường có nhiệt độ cao

29.

Hệ đo từ điện trở

Đo tính chất từ điện của vật liệu

30.

Hệ đo các tính chất điện RLC

Đo điện trở, trở kháng, cảm kháng của vật liệu, linh kiện.